磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動方式研究

介紹了基于MEMS技術的磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺的旋轉(zhuǎn)原理,進行了針對旋轉(zhuǎn)力矩的仿真;在此基礎上,給出了相應實現(xiàn)方案的指標分析和系統(tǒng)設計.經(jīng)過實際測試,旋轉(zhuǎn)驅(qū)動后,微陀螺可以得到均勻快速的旋轉(zhuǎn)效果,為下一步陀螺效應的研究打下了基礎.

作 者： 邵詩逸 黃曉剛 劉武 陳文元 SHAO Shi-yi HUANG Xiao-gang LIU Wu CHEN Wen-yuan   作者單位： 上海交通大學,微納科學技術研究院,薄膜與微細加工教育部重點實驗室,微納米加工國防實驗室,上海,200030  刊 名： 微電子學  ISTIC PKU 英文刊名： MICROELECTRONICS  年，卷(期)： 2006 36(1)  分類號： V241.5  關鍵詞： 磁懸浮轉(zhuǎn)子   微陀螺   文氏橋   移相   正交驅(qū)動  

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